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MEMS加速度计的核心是什么

 时间:2020-07-29 | 浏览: 次 | 来源:天羿领航
    随着硅微加工技术(MEMS)的飞速发展,各种基于MEMS技术的器件应运而生。目前,压力传感器、加速度传感器、光开关等已经得到了广泛的应用,它们具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高等特点。其加工技术与传统集成电路技术具有一定的兼容性,易于实现数字化、智能化和大批量生产。因此,自其产生以来就引起了广泛的关注,广泛应用于汽车、医药、导航与控制、生化分析、工业检测等领域。加速度传感器是应用最广泛的例子之一。

    加速度传感器的原理随应用的不同而不同,包括压阻式、电容式、压电式、谐振式等。


    在任何情况下,加速度传感器都需要得到直线运动情况下的加速度,通过内芯原理得到不同的值,通过求解得到所需的数据。


    一般加速度计是单轴加速度计从一个方向运动得到的数据,通过将电容工作原理得到的压差值转换得到相应的加速度数据。根据载流子在不同方向上的运动,从双轴、三轴以及同一方向(X-y-Z)三个三维坐标方向,可以得到三种不同坐标系下的X、y、Z的加速度值。并通过对微电路解决方案中应有的数据信息进行计算得到结果。


    因此,MEMS加速度计的核心是通过结构模式的值来判断其精度和稳定性是否满足客户的要求。
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